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セラミック絶縁リングのリユース「ネオスCIR処理」

ターゲット周りに用いられる絶縁リングのダメージレス洗浄。

お困り事(事例紹介)

・絶縁リング表面に付着物が付着し、異常放電によりパーティクルが発生する。
・再生洗浄により、母材がダメージを受け気密性が保てなくなる(リユース不可)。

提案内容

・ネオスCIR処理により、付着物を除去し異常放電を抑制、パーティクルを低減します。
・絶縁リングの気密性を保持した再生洗浄を可能にします。

導入後の効果

・異常放電を抑えパーティクル低減に繋がります。
・絶縁リングのリユースが可能となり、購入費削減が出来ます。

 

詳しくはネオスまでお問い合わせください。 「PVD」一覧に戻る