セラミック絶縁リングのリユース「ネオスCIR処理」
ターゲット周りに用いられる絶縁リングのダメージレス洗浄。
お困り事(事例紹介)
・絶縁リング表面に付着物が付着し、異常放電によりパーティクルが発生する。
・再生洗浄により、母材がダメージを受け気密性が保てなくなる（リユース不可）。
提案内容
・ネオスCIR処理により、付着物を除去し異常放電を抑制、パーティクルを低減します。
・絶縁リングの気密性を保持した再生洗浄を可能にします。
導入後の効果
・異常放電を抑えパーティクル低減に繋がります。
・絶縁リングのリユースが可能となり、購入費削減が出来ます。
