フッ化物除去洗浄「アロワナ・SND処理」
酸化膜エッチング Si製パーツ(表面・ガス孔)に付着したフッ化物の除去
お困り事(事例紹介)
・酸化膜エッチング装置で使用されるSi製パーツに付着したフッ化物が完全に除去できない。
・装置内でパーティクルが発生し、歩留りが悪く、品質に大きな影響を及ぼす。
提案内容
・アロワナ・SND処理方法により、フッ化物を除去する事が可能で、再利用を御提案致します。
導入後の効果
・フッ化物の除去により、装置使用時のパーティクル低減となり、歩留りが改善致します。
・Si母材への影響が少なく、パーツ自体の延命 = パーツ購入費削減へと繋がります。