耐プラズマ性溶射
耐プラズマ性溶射によるパーティクル抑制、膜均一性の向上、パーツの延命化を図る。
お困り事(事例紹介)
・プラズマにより、アルマイトの剥離やクラックが発生し、それを起因とするパーティクル発生、エッチングレート低下、面内均一性の低下、異常放電などの問題が発生します。
・プラズマエッチングに晒されることで母材の劣化によるパーツ寿命が短くなる。
提案内容
・耐プラズマ性溶射を施すことで、パーツの延命、エッチングレート及び面内均一性の向上、異常放電の防止に効果があります。
導入後の効果
・耐食性が向上することで、パーツの延命やパーティクル低減に繋がります。
・エッチングレート、面内均一性の向上により、歩留まり改善に繋がります。