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耐プラズマ性溶射

耐プラズマ性溶射によるパーティクル抑制、膜均一性の向上、パーツの延命化を図る。

お困り事(事例紹介)

・プラズマにより、アルマイトの剥離やクラックが発生し、それを起因とするパーティクル発生、エッチングレート低下、面内均一性の低下、異常放電などの問題が発生します。
・プラズマエッチングに晒されることで母材の劣化によるパーツ寿命が短くなる。

提案内容

・耐プラズマ性溶射を施すことで、パーツの延命、エッチングレート及び面内均一性の向上、異常放電の防止に効果があります。

導入後の効果

・耐食性が向上することで、パーツの延命やパーティクル低減に繋がります。
・エッチングレート、面内均一性の向上により、歩留まり改善に繋がります。

詳しくはネオスまでお問い合わせください。 「耐食性向上」一覧に戻る