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製造装置冷却ライン流量回復洗浄「フィールドメンテナンス」

クリーンルーム内へ洗浄機材を持ち込み、製造装置の冷却ラインに対し現地洗浄を行います。

お困り事(事例紹介)

・冷却水ライン内にスケールが付着し、流量低下により冷却効果が低下する。
・冷却効果が低下することで最悪の場合、装置のダウンタイムが発生する。
・長期間の使用により、冷却ラインの内部にスケールが付着し閉塞する。

提案内容

・ネオス独自の洗浄技術により、現地洗浄対応が可能です。(クリーンルーム内対応可)
・母材に影響のない最適な薬剤を選定し、付着物を除去する事が出来ます。
・各種計器を取り外さず現地洗浄を可能とすることで、装置ダウンタイムを短縮できます。

    導入後の効果

    ・装置冷却ラインの内部閉塞が改善され、流量回復に繋がります。

    詳しくはネオスまでお問い合わせください。 「CVD」一覧に戻る