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セラミック絶縁リングのリユース「ネオスCIR処理」
ターゲット周りに用いられる絶縁リングのダメージレス洗浄。
アルミ母材のダメージレス洗浄「ネオスNT-2」
・寸法形状や表面粗さの変化を抑えた洗浄によりパーティクル低減が可能です。
アルミ母材ダメージレス洗浄「ネオスＳ処理」
アルミ母材に付着物（アルミ溶射/デポジット）に対し、母材のダメージを抑えた洗浄を致します。
フッ化物除去洗浄「アロワナ・SND処理」
酸化膜エッチング Si製パーツ(表面・ガス孔)に付着したフッ化物の除去
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