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セラミック絶縁リングのリユース「ネオスCIR処理」
ターゲット周りに用いられる絶縁リングのダメージレス洗浄。
アルミ母材のダメージレス洗浄「ネオスNT-2」
・寸法形状や表面粗さの変化を抑えた洗浄によりパーティクル低減が可能です。
耐プラズマ性溶射
耐プラズマ性溶射によるパーティクル抑制、膜均一性の向上、パーツの延命化を図る。
ブラストメディア低減「NEO処理」
ブラストメディアを効率よく除去し、装置立ち上げ時パーティクルを抑制する洗浄技術
フッ化物除去洗浄「アロワナ・SND処理」
酸化膜エッチング Si製パーツ(表面・ガス孔)に付着したフッ化物の除去
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