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耐プラズマ性溶射
耐プラズマ性溶射によるパーティクル抑制、膜均一性の向上、パーツの延命化を図る。
製造装置冷却ライン流量回復洗浄「フィールドメンテナンス」
クリーンルーム内へ洗浄機材を持ち込み、製造装置の冷却ラインに対し現地洗浄を行います。
ブラストメディア低減「ＮＥＯ処理」
ブラストメディアを効率よく除去し、装置立ち上げ時パーティクルを抑制する洗浄技術
フッ化物除去洗浄「アロワナ・SND処理」
酸化膜エッチング Si製パーツ(表面・ガス孔)に付着したフッ化物の除去
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