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セラミック絶縁リングのリユース「ネオスCIR処理」ターゲット周りに用いられる絶縁リングのダメージレス洗浄。 -
アルミ母材のダメージレス洗浄「ネオスNT-2」・寸法形状や表面粗さの変化を抑えた洗浄によりパーティクル低減が可能です。 -
製造装置冷却ライン流量回復洗浄「フィールドメンテナンス」クリーンルーム内へ洗浄機材を持ち込み、製造装置の冷却ラインに対し現地洗浄を行います。 -
アルミ母材ダメージレス洗浄「ネオスＳ処理」アルミ母材に付着物（アルミ溶射/デポジット）に対し、母材のダメージを抑えた洗浄を致します。 -
ブラストメディア低減「ＮＥＯ処理」ブラストメディアを効率よく除去し、装置立ち上げ時パーティクルを抑制する洗浄技術